工業(yè)潔凈室重點(diǎn)以無(wú)生命的微粒為控制對(duì)象,側(cè)重點(diǎn)為塵埃粒子檢測(cè)。主要控制空氣塵埃微粒對(duì)故障對(duì)象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)(半導(dǎo)體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤(pán)、膠片、磁帶產(chǎn)生)LCD(液晶玻璃)、計(jì)算機(jī)硬盤(pán)、計(jì)算機(jī)磁頭生產(chǎn)等行業(yè)。

潔凈室竣工后,再投入使用之前,首先要經(jīng)過(guò)第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)的檢測(cè),并且取得生物安全實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)合格報(bào)告,然后徹底消毒以后,才能正常使用。
正常使用的潔凈室也需要定期進(jìn)行性能測(cè)試,以確保潔凈室或潔凈區(qū)始終符合相應(yīng)的規(guī)范要求。潔凈室(區(qū))認(rèn)證檢測(cè)的基本內(nèi)容包含空氣潔凈度等級(jí)、靜壓差和風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定,且潔凈室或潔凈區(qū)性能測(cè)試認(rèn)證工作應(yīng)由專(zhuān)門(mén)檢測(cè)認(rèn)證單位承擔(dān),并提交檢測(cè)報(bào)告。GB 50073-2013《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》對(duì)潔凈室主要的檢測(cè)參數(shù)周期做了相應(yīng)的規(guī)定!
空氣潔凈度測(cè)試周期至少每一年檢測(cè)一次。規(guī)范規(guī)定:空氣潔凈度等級(jí)≤5級(jí),空氣潔凈度等級(jí)認(rèn)證測(cè)試最長(zhǎng)時(shí)間間隔為 6 個(gè)月;空氣潔凈度等級(jí)>5級(jí),空氣潔凈度等級(jí)認(rèn)證測(cè)試最長(zhǎng)時(shí)間間隔為12個(gè)月。
如出現(xiàn)大修,空氣過(guò)濾異常,生產(chǎn)產(chǎn)品不合格疑似環(huán)境問(wèn)題導(dǎo)致時(shí),也需要進(jìn)行潔凈室檢測(cè)。

在A、B、C、D級(jí)潔凈區(qū)塵埃粒子測(cè)試中A級(jí)、B級(jí)的采樣量每個(gè)點(diǎn)不少1000L實(shí)際每個(gè)點(diǎn)采樣量為50L/min×20min×1次,C級(jí)、D級(jí)的采樣量實(shí)際每個(gè)點(diǎn)為50L/min×1min×2次。
1 、測(cè)試條件
1.1靜態(tài)是指所有生產(chǎn)設(shè)備均已安裝就緒,但沒(méi)有生產(chǎn)活動(dòng)且無(wú)操作人員在場(chǎng)的狀態(tài)。凈化空調(diào)系統(tǒng)至少運(yùn)行30分鐘后方可進(jìn)行測(cè)試。
1.2動(dòng)態(tài)是指生產(chǎn)設(shè)備按預(yù)定的工藝模式運(yùn)行并有規(guī)定數(shù)量的操作人員在現(xiàn)場(chǎng)操作的狀態(tài)。
1.3若生產(chǎn)車(chē)間停產(chǎn)后要恢復(fù)生產(chǎn),則應(yīng)在車(chē)間清潔后在靜態(tài)條件下進(jìn)行檢測(cè),而連續(xù)生產(chǎn)狀態(tài)下應(yīng)定期進(jìn)行靜態(tài)檢測(cè)及部分區(qū)域的動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)。
2 、測(cè)試準(zhǔn)備
2.1 在平面圖上標(biāo)明取樣點(diǎn)以便常規(guī)取樣。
2.2檢查塵埃粒子計(jì)數(shù)器是否正常,并作外表潔凈后方可進(jìn)入潔凈室,采樣管須清潔并無(wú)滲漏,儀器預(yù)熱至穩(wěn)定。
3 、注意事項(xiàng)
3.1 對(duì)不同級(jí)別潔凈室,測(cè)定時(shí)應(yīng)按粒子數(shù)從少到多的順序檢測(cè)。
3.2更換測(cè)試點(diǎn)時(shí),應(yīng)待儀器讀數(shù)下降至穩(wěn)定后開(kāi)始測(cè)試。
3.3靜態(tài)監(jiān)測(cè)時(shí)進(jìn)入潔凈室的人員不應(yīng)超過(guò)二人;動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)應(yīng)在正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行。
4、采樣方法、采樣量及監(jiān)測(cè)頻次
4.1采樣方法:一般在離地面0.8—1.5m高度的水平面上(工作面)布點(diǎn),采樣點(diǎn)數(shù)目不少于2個(gè),總采樣次數(shù)不少于5次。
面積(平方米) | 采樣點(diǎn)數(shù)(個(gè)) |
<10 | 2-3 |
10 | 4 |
20 | 50 |
40 | 6-7 |
100 | 10 |

每個(gè)采樣點(diǎn)的平均粒子數(shù)須低于或等于規(guī)定的級(jí)別界限。
全部采樣點(diǎn)的粒子數(shù)平均值的95%置信上限不超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的界限。